FSM2-NAF102-A153B，F(xiàn)SM2-NAF101-S083B
日本CKD流量傳感器?控制器
日本CKD氣體用小型流量傳感器Rapiflow（R）
雙畫面雙色顯示氣體用小型流量傳感器。備有顯示一體型、顯示分離型2種產(chǎn)品類型。
： 保護(hù)氣體，檢查，理化分析設(shè)備
FSM2-A 顯示分離型 0.5～1000 4～10, 1/8, 1/4, 1/2 
FSM2-N 顯示一體型（開關(guān)輸出NPN 2點(diǎn)、模擬輸出1點(diǎn)） 0.5～1000 4～10, 1/8, 1/4, 1/2 
FSM2-P 顯示一體型（開關(guān)輸出PNP 2點(diǎn)、模擬輸出1點(diǎn)） 0.5～1000 4～10, 1/8, 1/4, 1/2
■大流量、小體積】
流量范圍：0.5～1000?/min
500、1000L/min型實(shí)現(xiàn)了比原有體積減少30%的小型化。
■無(wú)需直管部位】
內(nèi)置新的整流機(jī)構(gòu)，上游側(cè)和下游側(cè)均無(wú)需直管部位，可自由設(shè)置。
■雙方向測(cè)量】
顯示一體型、雙向型可任意設(shè)定流向進(jìn)行測(cè)量。
■高速響應(yīng)】
采用經(jīng)過硅微加工的白金傳感器芯片，實(shí)現(xiàn)50m/sec的響應(yīng)速度。
■潔凈規(guī)格】
標(biāo)配有P70（防止發(fā)塵）、P80（禁油規(guī)格）產(chǎn)品。
適合半導(dǎo)體、液晶制造域的用途。
FSM2-NVF050-H061B
FSM2-NVF050-H061B
FSM2-NVF501-A153
FSM2-NVF101-S081
FSM2-NVF100-H04
FSM2-PVF500-H06
小型流量傳感器 Rapiflow
顯示一體型/顯示分離型 FSM2 Series
● 樹脂閥體型（流量范圍：500m?/min～200?/min）
● 鋁閥體型（流量范圍：500?/min、1000?/min）
● 不銹鋼閥體型（流量范圍：500m?/min～200?/min）
使用壓力0.7MPa
低使用壓力-0.09MPa
耐壓1MPa
使用環(huán)境溫度·濕度0～50°C，90%RH以下
流體溫度0～50°C（不得結(jié)露）
使用范圍單向型：3～100％F.S.，雙向型：-100～-3％F.S.，3～100％F.S.
直線性（顯示·模擬輸出） ±3%F.S.以內(nèi)（2次側(cè)大氣開放）
壓力特性±5%F.S.以內(nèi)（-0.09～0.7MPa，2次側(cè)大氣開放基準(zhǔn)）
溫度特性±0.2%F.S./°C
以內(nèi)（15～35°C、25°C基準(zhǔn)）
重復(fù)性±1%F.S.以內(nèi)
消耗電流 注10 50mA以下
導(dǎo)線φ3.7 相當(dāng)于AWG26×5芯（接插件連接），絕緣體外徑φ1.0
具備功能流量顯示、流量顯示峰值保持、開關(guān)輸出
模擬輸出 等安 裝安裝方式縱、橫自由
導(dǎo)入直管部位不需要
防護(hù)等級(jí)IEC標(biāo)準(zhǔn) 相當(dāng)于IP40
保護(hù)回路 注11 電源逆接保護(hù)、開關(guān)輸出逆接保護(hù)、開關(guān)輸出負(fù)荷短路保護(hù)
FSM2-NAF102-A153B，F(xiàn)SM2-NAF101-S083B